應(yīng)用范圍:
l 低壓制程的液體
l 低蒸汽壓的液體
l 腐蝕性、危險性的液體
l 粘性液體、含有固體顆粒的液體
l 從管線和桶槽中取樣
可選擇模式
n 開/關(guān)
n 系統(tǒng)清除( System Purge )
n 逆向清除(Back Purge )
n 針組件清除( Needle Purge )
n 連續(xù)性的針組件清除(Continuous Needle Purge )